МОЮЩИЕ РАБОЧИЕ ПОЗИЦИИ АВТОМАТИЧЕСКИХ ЛИНИЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ НА ПЛАТАХ ТОНКОПЛЁНОЧНЫХ МИКРОСБОРОК И ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН С АДАПТИРОВАННЫМИ ГЕНЕРАТОРАМИ ПЕНЫ
Попов В.В.
Попов Виктор Владимирович - специалист по данным, ООО Opex Analytics, г. Чикаго, Соединенные Штаты Америки, магистр компьютерных наук, Корнелльский университет, г. Нью Йорк, Соединенные Штаты Америки, бакалавр мехатроники и робототехники, Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, г. Москва
Аннотация: в данной работе рассматриваются моющие рабочие позиции автоматических линий фотолитографии. Основное внимание фокусируется на вопросах модернизации оборудования на базе линий фотолитографии на платах тонкоплёночных микросборок и полупроводниковых пластин с интеграцией генераторов пены, представляющих собой мехатроннное (и, потенциально, робототехническое) устройство. Автор подробно описывает принцип действия рабочей позиции с интегрированным генератором пены как сложной мехатронной системы. Приводится детальная классификация предложенного технического решения в части способа. Автор в деталях описывает отдельные структурные компноненты центрифуги рабочей позиции модуля линии фотолитографии и их взаимосвязи. Также в статье описывается оценка технологического и коммерческого потенциала изобретения, основанная на сравнении с существующими устройствами, исходя из которой делается вывод о превосходстве предлагаемого решения.
Ключевые слова: аэродинамический генератор пены, робототехника, мехатроника, автоматическая производственная линия.
Список литературы
- Bristol Robert L. et al. “Structures and methods for improved lithographic processing”, U.S. Patent 20180294167, issued October 11, 2018.
- Liao Chia-Feng et al. “Photolithography tool and method thereof”, U.S. Patent 20170123328, issued May 4, 2017.
- Popov V. “Application of vortical foam generators in automatic photolithography lines with control systems including elements of artificial intelligence and artificial neural networks”, Vestnik Nauki I Obrazovaniya №21 (75-1). 2019. doi: 10.24411/2312-8089-2019-12101.
- Sakakura Masayuki et al. “Semiconductor device and manufacturing method thereof”, U.S. Patent 20170148827, issued May 25, 2017.
- Zhou Wen-Zhan et al. “System and method for supplying and dispensing bubble-free photolithography chemical solutions”, U.S. Patent 20180067395, issued March 8, 2018.
- Lee Takhee et al. “Method for manufacturing high-density organic memory device”, U.S. Patent 20170331040, issued November 16, 2017.
- Yuan Guangcai et al. “Thin film transistor, array substrate and manufacturing method thereof, and display device”, U.S. Patent 20180138210, issued May 17, 2018.
- Popov Victor. Transformation of Aerodynamic Capture Principle to Dynamic Activation of Fuel Mixture principle, Program and Associated Method of Preliminary Tests, "Intellectual Archive" journal, vol.8, #3, 2019. doi: 10.32370/IAJ.2157.
- Takahashi Satoshi et al. “Method of producing solid-state imaging device, solid-state imaging device, method of producing color filter, and color filter”, U.S. Patent 20180261639, issued September 13, 2018.
- Ho Johnny Chung Yin et al. “Optical mask for use in a photolithography process, a method for fabricating the optical mask and a method for fabricating an array of patterns on a substrate using the optical mask”, U.S. Patent 20190064656, issued February 28, 2019.
- Hasebe Kazuhide et al. “MASK PATTERN FORMING METHOD, FINE PATTERN FORMING METHOD, AND FILM DEPOSITION APPARATUS”, U.S. Patent 20180019113, issued January 18, 2018.
- Hasebe Kazuhide et al. “Mask pattern forming method, fine pattern forming method, and film deposition apparatus”, U.S. Patent 20170162381, issued June 8, 2017.
Ссылка для цитирования данной статьи
![]() |
Тип лицензии на данную статью – CC BY 4.0. Это значит, что Вы можете свободно цитировать данную статью на любом носителе и в любом формате при указании авторства. | |
Ссылка для цитирования. Попов В.В. МОЮЩИЕ РАБОЧИЕ ПОЗИЦИИ АВТОМАТИЧЕСКИХ ЛИНИЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ НА ПЛАТАХ ТОНКОПЛЁНОЧНЫХ МИКРОСБОРОК И ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН С АДАПТИРОВАННЫМИ ГЕНЕРАТОРАМИ ПЕНЫ // IX Международная научно-практическая конференция «Современные инновации: достижения и перспективы III тысячелетия» Свободное цитирование при указании авторства: https://moderninnovation.ru/o-konferentsii-serii-sovremennye-innovatsii/o-konferentsii-serii-sovremennye-innovatsii-3.html (Россия. Москва. 15 декабря 2019). С. {см. сборник}. |
Издательство «Проблемы науки»
Follow usСледуйте за нами в социальных сетях